真空泵分為氣體輸送泵和氣體粘合或捕集泵。氣體容積式真 空泵可以沒(méi)有限制地使用，而氣體粘合真空泵具有有限的氣 體吸收能力，并且必須在一定的過(guò)程相關(guān)間隔進(jìn)行。

氣體容積式泵，也被稱為氣體輸送泵，被分類為往復(fù)容積式 泵或動(dòng)能真空泵。容積泵將密封區(qū)域的氣體置換到大氣或下 游泵級(jí)中。動(dòng)能泵通過(guò)機(jī)械驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)或通過(guò)在抽吸部分結(jié)束 時(shí)冷凝的引導(dǎo)蒸汽流在抽吸方向?qū)怏w進(jìn)行加速來(lái)置換氣 體。氣體粘合真空泵通過(guò)吸氣或在合適溫度冷凝氣體的方式 將氣體粘合到的活性襯底上。化學(xué)吸附是通過(guò)被稱為吸 氣泵的泵類型在上進(jìn)行的，該吸附泵通過(guò)蒸發(fā)和/或升華 或?yàn)R射不斷地產(chǎn)生純凈的吸氣面。如果要結(jié)合的氣體粒子在 與吸氣面進(jìn)行相互作用之前在離子吸氣泵中被電離了，則它 們可通過(guò)濺射清潔吸氣面的同時(shí)被濺射的材料掩蓋。非蒸散 型吸氣劑 (NEG) 包括反應(yīng)性高的合金，其主要由鋯或鈦組 成，并且具有大的比表面積。氣體可以通過(guò)微孔滲透到 吸氣材料的深層里，并在那里結(jié)合成穩(wěn)定的化合物。

圖 4.1: 真空概覽